AOでI検出した位置データに高倍率と大視野を加えて瑕疵を選択した後に撮影します。マウスで画像を拡大できるので、人件費が削減できます。
50㎛の黒点を例にすると、人の目では位置をほとんど識別できません。そして精度を上げるためには、低、中、高倍率の順にレンズを操作しなければ、瑕疵が標記できず、「時間がかかり、人力を消耗します」