銅箔表面檢查系統

銅箔表面重大缺陷及周期性缺陷檢出,並將缺陷作分類統計。協助異常排除達到品質及量產並重,並可依據瑕疵類型進行製程改善及研發。

系統資訊

應用範圍

電解銅箔、壓延銅箔、FCCL、RCC銅箔、鋁箔等薄膜捲裝工業表面外觀檢測

檢測項目

針孔、銅屑、氧化、銹斑、墊傷、粒銅、刮傷、雜質、褶皺、結晶等

檢測方式

以高解析線性CCD進行高速動態捲裝製程檢測,以增加收益

檢測速度

線速最高可達120 m/min

顯示方式

瑕疵圖片顯示及音效、燈光或自動標籤黏貼警示

檢驗精度

最小精度:表面10 μm、針孔5 μm

瑕疵現象對照

M污染

M粒銅

M電鍍缺陷+汙染

S托線汙染

S氧化